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半導(dǎo)體手套箱行業(yè)專家在線為您服務(wù)
2021-06-18






手套箱操作步驟

抽真空與充氣的放法:

1、本產(chǎn)品分為主箱體和過渡室兩部分。主箱體不能單獨(dú)抽真空,過渡室則可以單獨(dú)抽真空。

2、先打開過渡室里面的門,然后關(guān)上所有手套接口壓蓋、閥門和過渡室外的門。

3、打開手套口之間的三通閥(逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)),將手套接口壓蓋與手套之間的空間接通箱體,使得抽氣時(shí)手套內(nèi)外(箱體和接口)同時(shí)抽真空,保持兩邊氣壓平衡。

4、將真空泵接到過渡室一個(gè)閥門上,開啟真空泵,緩緩打開此閥門,對(duì)系統(tǒng)抽氣(如打開閥門的速度太快,可能引起手套膨脹)。

5、待真空表指針下降并穩(wěn)定在—0.1MPa時(shí),抽真空完成,此時(shí)應(yīng)先關(guān)閥門再關(guān)真空泵。

6、然后通過另一閥門向箱體內(nèi)充入惰性氣體,直至氣壓比大氣壓(氣壓表指數(shù)為0MPa)略高一點(diǎn),使箱體內(nèi)、外的壓力基本平衡,且內(nèi)部略高于外部,可保證大氣不會(huì)滲入箱體內(nèi)部(如果您想使箱體內(nèi)的氣體更純凈,將以上抽氣和充氣過程重復(fù)幾次)。關(guān)掉連接手套接口的三通閥,打開手套接口上的壓蓋,就可以進(jìn)行操作了。2、當(dāng)箱內(nèi)氧氣濃度超出200PPM時(shí),應(yīng)通知設(shè)備維修人員進(jìn)行系統(tǒng)操作,否則會(huì)破壞水、氧凈化系統(tǒng)。

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手套箱的日常維護(hù)保養(yǎng)

1.手套箱每周檢查真空泵油面,不足三分之二時(shí)要注意添加,為保證真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn),延長真空泵的使用壽命,建議每半年更換一次真空泵油。

2.箱體和玻璃用常用的清潔劑清洗外面(禁止使用有腐蝕性的清潔劑);用柔軟的無絨屑的布;如果可能可以使用帶刷子的吸塵器或粘紙滾輪。

3.檢查手套是否破損,特別是手指頭上,工作時(shí)請(qǐng)戴布手套以免在手套內(nèi)產(chǎn)生水氣。另外,工作完畢后請(qǐng)把每個(gè)手套上的5個(gè)指套指向外,防止時(shí)間長了,汗液把指套粘住。注意:發(fā)現(xiàn)手套破損后要立即更換,禁止對(duì)手套進(jìn)行任何修補(bǔ)。

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手套箱在OLED器件制作過程中的應(yīng)用


OLED,即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode),是一種全新的顯示技術(shù)。與LCD相比,可視角度寬(大于170°)、響應(yīng)時(shí)間快(LCD的千分之一)、低溫特性好(在零下40度正常顯示)、低功耗等優(yōu)點(diǎn),被業(yè)界廣泛看好成為下一代顯示技術(shù),現(xiàn)在已廣泛應(yīng)用于車載顯示器、手機(jī)顯示屏等等。并且隨著OLED技術(shù)發(fā)展,白光OLED在照明領(lǐng)域也開始嶄露頭角,尤其在城市照明、廣告牌等行業(yè)被寄予非常高期望。手套箱操作室次置換(氮?dú)庵脫Q)反復(fù)一次充氮過程,取樣室先抽真空,并注意隨時(shí)用腳踏開關(guān)開閉排氣。

通常所說OLED其實(shí)包含小分子OLED和高分子OLED(也稱PLED)兩種。小分子OLED和高分子OLED的差異主要表現(xiàn)在器件的制備工藝不同:小分子器件主要采用真空熱蒸發(fā)成膜工藝,高分子器件則采用旋轉(zhuǎn)涂覆或噴涂印刷成膜工藝。

OLED器件的制備工藝大致包括:ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前處理→真空蒸鍍有機(jī)層→真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護(hù)層→封裝→切割→測試→模塊組裝→產(chǎn)品檢驗(yàn)等十幾道工序

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